八氟環(huán)丁烷,簡(jiǎn)稱C-318,又名全氟環(huán)丁烷,是一種化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定且用途十分廣泛的氟碳類特種氣體。在集成電路制造的刻蝕工藝和清洗工藝中有著廣泛的應(yīng)用。隨著電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,電子工業(yè)中,高純八氟環(huán)丁烷的需求日益增加,尤其在深硅刻蝕、低介電薄膜刻蝕和原子尺度刻蝕工藝等領(lǐng)域有著巨大的潛在應(yīng)用前景。例如:在具有高深寬比的深硅刻蝕工藝中,它具有控制精度高、大區(qū)域一致性好、刻蝕垂直特性好、材料損耗低等優(yōu)點(diǎn),能夠滿足未來(lái)集成電路元器件尺寸小型化、功能性增強(qiáng)、存儲(chǔ)能力增大的發(fā)展要求
上海宇極賽氟科技有限公司
聯(lián)系商家時(shí)請(qǐng)?zhí)峒癱hemicalbook,有助于交易順利完成!
宇極賽氟