六甲基二硅氮烷
中文別名:六甲基二硅亞胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
分子式 C6H19NSi2
分子量 161.39
CAS號 999-97-3
EINECS號 213-668-5
密度: 0.765
熔點: -78℃
沸點: 125℃
閃點: 20℃
性 狀 無色透明液體、無毒、略帶胺味
用途:中間體,是羥基及氨基保護劑;特種有機合成。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。
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