中文名稱:米吡氯銨中文別名:咪吡氯銨CAS No:2748-88-1EINECS號(hào):220-387-1分子式:C20H36ClN沸點(diǎn):°Cat760mmHg用途:在濕式蝕刻或干式蝕刻之后的洗滌工序中,使用含有選自具有碳原子數(shù)12、碳原子數(shù)14或碳原子數(shù)16的烷基的咪唑鎓鹵化物、具有碳原子數(shù)14或碳原子數(shù)16的烷基的吡啶鎓鹵化物和具有碳原子數(shù)16或碳原子數(shù)18的烷基的鹵化銨中的至少一種及水的用于抑制微細(xì)結(jié)構(gòu)體的圖案倒塌的處理液。
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