甲基硅烷(MS)
使用經(jīng)過內(nèi)壁鏡面拋光、鈍化處理的碳鋼瓶。容積有10L、47L二種規(guī)格,閥門為CGA660/CGA350/CGA634,不同容積的容器均按充裝系數(shù)0.25kg/L包裝產(chǎn)品,還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
產(chǎn)品指標(biāo):
材料級甲基硅烷
氣體名稱
Methylsilane(CH,SiH,)
成份/雜質(zhì)名稱
產(chǎn)品指標(biāo)
甲基硅烷
≥99.5 %
不凝氣雜質(zhì)(N,,Oz+Ar,CO,CH)
≤0.2%
硅烷
氯硅烷
≤0.1%
電子級甲基硅烷
Methylsilane(CH3SiH3)
SiH3CH3
>99.98%(不含其他甲基硅烷)
N2
≤10ppm/v
Ar+O2
≤2ppm/v
CO2
CH4
≤50ppm/v
SiH4
Other Methylsilanes
Chlorosilanes
安徽艾約塔硅油有限公司
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潘經(jīng)理