高純二氯二氫硅(DCS)
產(chǎn)品描述:
二氯二氫硅包裝采用316L不銹鋼制作,容積有10L、47L二種規(guī)格,分別充裝10KG,40KG產(chǎn)品;閥門(mén)為CGA678/CGA636規(guī)格,還可根據(jù)用戶(hù)特殊要求提供不同包裝和接口。
技術(shù)數(shù)據(jù)表:
氣體名稱(chēng)
二氯二氫硅 (SiH2Cl2)
成分或雜質(zhì)名稱(chēng)
產(chǎn)品指標(biāo)
純度
≥99.9%
電阻率
≥400 ohm.cm
其他氯硅烷
≤1000 ppm/w
碳(C)
≤0.03 ppm/w
施主雜質(zhì)(砷As,磷P)
≤0.08 ppb/w
硼(B)
≤0.01 ppb/w
鐵(Fe)
<2 ppb/w
鎳(Ni)
≤0.2 ppb/w
鉻(Cr)
≤2 ppb/w
安徽艾約塔硅油有限公司
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潘經(jīng)理