1、作為集成電路(IC)行業(yè)、液晶顯示器行業(yè)(TFT-LCD)、光電子(LED)行業(yè)的顯影液。
TMAH是一種有機(jī)堿,一方面它和無機(jī)堿一樣具有強堿性,另一方面它具有其獨特的特性,即在使用過程中不會留下金屬離子,加熱后可以分解成三甲胺氣體和甲醇?xì)怏w且不留任何痕跡,可廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代電子行業(yè)。顯影液的主要成分是堿,原來使用的堿是無機(jī)堿KOH,隨著科技的進(jìn)步,集成電路的設(shè)計制造需滿足各種復(fù)雜的工藝條件,對化學(xué)品雜質(zhì)要求越來越苛刻。之前用的顯影液是KOH等無機(jī)堿,顯影后需要用大量的水進(jìn)行沖洗基板,最終還不能保證K+ 能夠徹底沖洗干凈。金屬離子的過度殘留就無法滿足一些苛刻的工藝條件,如單個制造單元中電子元器件的數(shù)量越來越多,線寬越來越窄,成為制約電子行業(yè)發(fā)展的一個不容忽視的瓶頸,而TMAH正好克服了KOH的缺點,無金屬離子,高溫分解無殘留。
因此TMAH是目前使用最普遍且性能的顯影液。已取代無機(jī)堿(KOH、NAOH)廣泛用于集成電路(IC)行業(yè)、液晶顯示器行業(yè)(TFT-LCD)、光電子行業(yè)。
2、清洗劑:PCB等電子行業(yè)清洗劑,TMAH具有良好的清洗效果且無殘留。
3、工業(yè)用催化劑(相轉(zhuǎn)移催化劑,可以幫助反應(yīng)物從一相轉(zhuǎn)移到能夠發(fā)生反應(yīng)的另一相當(dāng)中,從而加快異相系統(tǒng)反應(yīng)速率的一類催化劑。一般存在相轉(zhuǎn)移催化的反應(yīng),都存在水溶液和有機(jī)溶劑兩相,離子型反應(yīng)物往往可溶于水相,不溶于有機(jī)相,而有機(jī)底物則可溶于有機(jī)溶劑之中。不存在相轉(zhuǎn)移催化劑時,兩相相互隔離,幾個反應(yīng)物無法接觸,反應(yīng)進(jìn)行得很慢。相轉(zhuǎn)移催化劑的存在,可以與水相中的離子所結(jié)合,并利用自身對有機(jī)溶劑的親和性,將水相中的反應(yīng)物轉(zhuǎn)移到有機(jī)相中,促使反應(yīng)發(fā)生)。
TMAH作為季銨堿,在有機(jī)硅、橡膠防老劑領(lǐng)域是一種高效催化劑。
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