三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿，用作高分子有機硅化合物的原料。三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯劑和其它有機硅產品的重要中間體，還是制造多晶硅的主要原料。硅烷偶聯劑是一種重要的、高科技含量、高附加值的有機硅復合材料，通過硅烷偶聯劑可使非交聯樹脂實現交聯固化或改性，因此在玻璃纖維、鑄造、輪胎橡膠等行業(yè)得到了日益廣泛的應用。生產三氯氫硅的主要副產品四氯化硅也是制造有機硅的主要原料，它的制成品有硅酸酯、有機硅油、高溫絕緣漆、有機硅樹脂、硅橡膠和耐熱墊襯材料等。高純的四氯化硅還是制造高純二氧化硅、無機硅化合物、石英纖維以及光導纖維的重要原料。

　　多晶硅產品的主要用途：

　　(1)可做成太陽能電池，將輻射能轉變?yōu)殡娔埽?/p>

　　(2)高純的晶體硅是重要的半導體材料；

　　(3)金屬陶瓷、宇宙航行的重要材料；

　　(4)光導纖維通信，最新的現代通信手段；

　　(5)性能優(yōu)異的硅有機化合物。

　　三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好，在900℃時分解產生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。遇潮氣時發(fā)煙，與水激烈反應:2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6HCl；在堿液中分解放出氫氣：SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2；與氧化性物質接觸時產生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產生有機氯硅烷：SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3；在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火?？扇芙庥诒?、醚等。無水狀態(tài)下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。

　　生產方法：沸騰氯化法硅粉經干燥后加入氯化沸騰爐，與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進行反應。生成的粗三氯氫硅經濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經冷凝，制得三氯氫硅成品。其Si+3HCl→SiHCl3+H2