六氟化硫/SF6,純度:99.99%/99.999%,包裝:10L/40L。六氟化硫是一種無(wú)機(jī)化合物,常溫常壓下為無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃的穩(wěn)定氣體。
六氟化硫,新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻機(jī)。廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。
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