高純氮?dú)?,純度?9.999%。包裝:8L/40L/50L。高純氮?dú)庥糜诩呻娐?、半?dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時的載氣,液體擴(kuò)散的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。
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