三氟化氮 無(wú)色,無(wú)味,不燃燒,腐蝕性的有毒氣體。 應(yīng)用 半導(dǎo)體生產(chǎn):清洗CVD反應(yīng)器。 分子量 71.0 比重 (Air = 1) 2.46
比容 0.34m3/kg@21.1ºC, 101.325kPa
氣味 純氣無(wú)味,但其中雜質(zhì)使他聞起來(lái)有發(fā)霉的味道。 CAS Registry No. 7783-54-2
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