鋁蝕刻劑A 鋁蝕刻劑D

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包裝	1加侖

最小起訂量	1加侖
發(fā)貨地	山東
更新日期	2022-05-06

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產(chǎn)品詳情

中文名稱:鋁蝕刻劑A 鋁蝕刻劑D	英文名稱:Al ETCH TYPE A D
保存條件: 常溫避光通風(fēng)保存	產(chǎn)品類別: 蝕刻劑

鋁蝕刻劑

（微型電子產(chǎn)品中鋁的蝕刻劑）

用本化學(xué)蝕刻劑與陰性和陽(yáng)性光刻膠都具有良好匹配性，能用于集成電路、半導(dǎo)體、二極管、MOD和FET裝置中電阻觸點(diǎn)和連接線的刻制。

鋁蝕刻劑，A型

本標(biāo)準(zhǔn)鋁蝕刻劑可用于硅裝置及其他微型電子產(chǎn)品。

鋁蝕刻劑，D型

本標(biāo)準(zhǔn)鋁蝕刻劑可用于砷化鎵，其他砷化物，以及砷化鎵部件，還可用于蝕刻鎳鉻電阻上的金屬鋁。

本產(chǎn)品的特點(diǎn)

· 蝕刻速率可以控制

· 蝕刻選擇性好，不浸蝕SiO₂ 或Si₃N₄

· 分辨率高，邊下蝕現(xiàn)象最低

· 無(wú)污點(diǎn)形成

· 經(jīng)濟(jì)，可反復(fù)使用

說(shuō)明

Transene公司鋁蝕刻劑是提供用以蝕刻硅部件上和集成電路中金屬鋁的穩(wěn)定無(wú)毒的成方制劑?？梢钥讨其X觸點(diǎn)和連接線。這些鋁蝕刻劑具有能克服鋁蝕刻過程中出現(xiàn)的許多問題的獨(dú)特性能。

鋁金屬化和使用光印刷術(shù)的蝕刻工藝是半導(dǎo)體和微型電子技術(shù)的基礎(chǔ)。Transene公司的鋁蝕刻劑與市售光刻膠（KTFR，AZ、Hunt、Waycoat等）具有良好匹配性，可以蝕刻出高分辨率圖案。可以得到寬度為1密耳的金屬線，線間距可小于5微米。Transene公司的鋁蝕刻劑分辨率高，因?yàn)樗粍兠摴饪棠z，這樣蝕刻線邊下蝕現(xiàn)象就最少。而且該蝕刻劑不浸蝕硅、二氧化硅、氮化硅或鎳鉻電阻膜。

供應(yīng)兩種鋁蝕刻劑用于微型電子器件。其中A型鋁蝕刻劑建議用于硅部件，D型建議用于砷化鎵和磷化鎵部件以避免蝕刻劑對(duì)金屬互化物的浸蝕作用。也建議用于蝕刻鎳鉻薄膜電阻上的金屬鋁。

Transene公司鋁蝕刻劑性能

A型D型外觀液體淡黃色PH1.01.0沸點(diǎn)> 100℃> 150℃冰點(diǎn)< 0℃< 0℃25℃時(shí)比重1.451.50閃點(diǎn)不可燃不可燃溶解度溶于水溶于水蝕刻速率 25 °C10 ?/秒40 ?/秒40 °C80 ?/秒125 ?/秒50 °C100 ?/秒200 ?/秒65 °C240 ?/秒----------75 °C550 ?/秒----------

注：蝕刻速率因鋁純度不同而微有區(qū)別。

應(yīng)用

用真空沉積法在硅片上鍍一層厚25000 ?的鋁膜，涂以光刻膠，上面覆蓋上攝影片，在紫外光源下暴光。光刻膠顯示圖案，其中作為連接線的鋁被保護(hù)，而不受保護(hù)部分的鋁則被鋁蝕刻劑浸蝕除掉。隨后用水沖洗。

蝕刻時(shí)間根據(jù)蝕刻溫度和鋁膜厚度而定。在蝕刻厚鋁膜時(shí)，蝕刻速率要高，此時(shí)要在較高溫度下進(jìn)行蝕刻。與此相反，對(duì)于薄鋁膜則需要蝕刻速率慢，蝕刻溫度低。在某一具體溫度下，蝕刻時(shí)間可根據(jù)下列公式計(jì)算：

蝕刻時(shí)間（分鐘）= 膜厚（?）

蝕刻時(shí)間（?/秒）* 60

關(guān)鍵字：鋁蝕刻劑蝕刻液 Transene;

公司簡(jiǎn)介

美國(guó)Transene蝕刻劑（蝕刻液，腐蝕液）中國(guó)供應(yīng)商。金蝕刻劑8148，TFA；鉭蝕刻劑SIE—8607；鋁蝕刻劑，A型；銀蝕刻劑TFS；鈀蝕刻劑TFP；鉻蝕刻劑1020；加HF改進(jìn)的緩沖劑；BOE； Transene 超聲洗滌劑TUD；鎳蝕刻劑TFB；氮化鉭蝕刻劑；鈦蝕刻劑TFT；銅蝕刻劑；鎳鉻蝕刻劑TFC和TFN；TFM鉬蝕刻和TFW鎢蝕刻劑；半導(dǎo)體蝕刻劑；氧化錫/銦錫蝕刻劑TE100；

成立日期	2016-09-21 （9年）	注冊(cè)資本	100.000000萬(wàn)
員工人數(shù)	10-50人	年?duì)I業(yè)額	￥ 100萬(wàn)以內(nèi)
主營(yíng)行業(yè)	化學(xué)試劑,醫(yī)藥中間體,合成材料中間體,其他中間體,液晶中間體	經(jīng)營(yíng)模式	貿(mào)易,工廠,試劑,定制,服務(wù)

煙臺(tái)科瑞爾化學(xué)科技有限公司

非會(huì)員

公司成立：9年
注冊(cè)資本：100.000000萬(wàn)
企業(yè)類型：有限責(zé)任公司
主營(yíng)產(chǎn)品：吩嗪酰胺類等
公司地址：山東省煙臺(tái)市芝罘區(qū)海港路29號(hào)1506室

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