N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン

￥26900 - ￥268800
化學(xué)名: N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
英語(yǔ)名: TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
別名:N,N',N''-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;トリス(ジメチルアミノ)シラン;N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N',N''-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N，N，N’，N’，N’’，N’’-ヘキサメチルシラントリアミン;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99+%, 3DMAS (99.999%-SI) PURATREM, 14-8750, CONTAINED IN 50 ML SWAGELOK? CYLINDER (96-1070) FOR CVD/ALD;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N′,N′′-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N,N′,N′′-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);[ビス(ジメチルアミノ)シリル]ジメチルアミン
CAS番號(hào): 15112-89-7
分子式: C6H19N3Si
分子量: 161.32
EINECS:239-165-0
MDL Number:MFCD00048006

価格8 プロパティ安全情報(bào) 説明

8物価

選択條件：

ブランド

富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
Sigma-Aldrich Japan

パッケージ

5g
10g
25g
100g

生産者富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
製品番號(hào)W01S04LS-1460
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane
包裝単位100g
価格￥268800
更新しました2021-03-23
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生産者富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
製品番號(hào)W01SRM98-4035
製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD
包裝単位25g
価格￥265200
更新しました2021-03-23
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生産者富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
製品番號(hào)W01SRM14-8750
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
包裝単位25g
価格￥92000
更新しました2024-03-01
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生産者富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
製品番號(hào)W01S04LS-1460
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane
包裝単位25g
価格￥67200
更新しました2021-03-23
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生産者富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
製品番號(hào)W01SRM14-8750
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
包裝単位5g
価格￥32300
更新しました2024-03-01
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生産者富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)
製品番號(hào)W01S04LS-1460
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane
包裝単位10g
価格￥26900
更新しました2021-03-23
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生産者Sigma-Aldrich Japan
製品番號(hào)570133
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999%
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%
包裝単位25g
価格￥27200
更新しました2024-03-01
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生産者Sigma-Aldrich Japan
製品番號(hào)759562
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems
英語(yǔ)製品説明Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems
包裝単位25g
価格￥127000
更新しました2024-03-01
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生産者	製品番號(hào)	製品説明	包裝単位	価格	更新時(shí)間	購(gòu)入
富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)	W01S04LS-1460	トリス(ジメチルアミノ)シラン Tris(dimethylamino)silane	100g	￥268800	2021-03-23	購(gòu)入
富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)	W01SRM98-4035	Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD	25g	￥265200	2021-03-23	購(gòu)入
富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)	W01SRM14-8750	トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM	25g	￥92000	2024-03-01	購(gòu)入
富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)	W01S04LS-1460	トリス(ジメチルアミノ)シラン Tris(dimethylamino)silane	25g	￥67200	2021-03-23	購(gòu)入
富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)	W01SRM14-8750	トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM	5g	￥32300	2024-03-01	購(gòu)入
富士フイルム和光純薬株式會(huì)社(wako)	W01S04LS-1460	トリス(ジメチルアミノ)シラン Tris(dimethylamino)silane	10g	￥26900	2021-03-23	購(gòu)入
Sigma-Aldrich Japan	570133	トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999% Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%	25g	￥27200	2024-03-01	購(gòu)入
Sigma-Aldrich Japan	759562	トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems	25g	￥127000	2024-03-01	購(gòu)入

プロパティ

融點(diǎn) :<0°C
沸點(diǎn) :145 °C
比重(密度) :0,838 g/cm³
屈折率 :1.4247
閃點(diǎn) :25°C
酸解離定數(shù)(Pka) :10.93±0.70(Predicted)
外見(jiàn) :liquid
色 :colorless to light yellow
比重 :0.84
Sensitive :air sensitive, moisture sensitive
Hydrolytic Sensitivity :8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPAの化學(xué)物質(zhì)情報(bào) :

安全情報(bào)

絵表示(GHS):

注意喚起語(yǔ):

Danger

危険有害性情報(bào):

コード	危険有害性情報(bào)	危険有害性クラス	區(qū)分	注意喚起語(yǔ)	P コード
H225	引火性の高い液體および蒸気	引火性液體	2	危険	P210,P233, P240, P241, P242, P243,P280, P303+ P361+P353, P370+P378,P403+P235, P501
H261	水に觸れると可燃性/引火性ガスを発生	水反応可燃性化學(xué)品	2 3	危険警告	P231+P232, P280, P370+P378,P402+P404, P501
H302	飲み込むと有害	急性毒性、経口	4	警告	P264, P270, P301+P312, P330, P501
H311	皮膚に接觸すると有毒	急性毒性、経皮	3	危険	P280, P302+P352, P312, P322, P361,P363, P405, P501
H314	重篤な皮膚の薬傷?眼の損傷	皮膚腐食性/刺激性	1A, B, C	危険	P260,P264, P280, P301+P330+ P331,P303+P361+P353, P363, P304+P340,P310, P321, P305+ P351+P338, P405,P501
H330	吸入すると生命に危険	急性毒性、吸入	1, 2	危険	P260, P271, P284, P304+P340, P310,P320, P403+P233, P405, P501

注意書(shū)き:

P210	熱/火花/裸火/高溫のもののような著火源から遠(yuǎn)ざけること。－禁煙。
P231+P232	濕気を遮斷し、不活性ガス下で取り扱うこと。
P280	保護(hù)手袋/保護(hù)衣/保護(hù)眼鏡/保護(hù)面を著用すること。
P303+P361+P353	皮膚（または髪）に付著した場(chǎng)合：直ちに汚染された衣類(lèi)をすべて脫ぐこと/取り除くこと。皮膚を流水/シャワーで洗うこと。
P305+P351+P338	眼に入った場(chǎng)合：水で數(shù)分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを著用していて容易に外せる場(chǎng)合は外すこと。その後も洗浄を続けること。

説明

Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor.

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