27804-64-4
中文名稱
雙(二乙基氨基)硅烷
英文名稱
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
CAS
27804-64-4
分子式
C8H22N2Si
分子量
174.359
MOL 文件
27804-64-4.mol
更新日期
2025/01/22 14:25:37
27804-64-4 結構式
基本信息
中文別名
雙(二乙基氨基)硅烷雙(二乙氨基)二氫硅烷
英文別名
BDEASamino)dihydrosiL
BIS(DIETHYLAMINO)SILANE
BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2
Bis(diethylamino)silane BDEAS
bis(diethylamino)dihydrosilane
Bis(diethylamino) Silane Liquid
Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
SilanediaMine, N,N,N',N'-tetraethyl-
所屬類別
有機原料：有機硅化合物物理化學性質
沸點70°C (30mm)
密度0.804
酸度系數(pKa)10.31±0.70(Predicted)
形態(tài)液體
比重0.804
顏色無色
敏感性對空氣敏感，濕氣敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
常見問題列表
用途
雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅體材料。制備
目前作為二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷與二烷基胺的反應而合成的方法中，除了目標二烷基氨基硅烷以外，還大量副產二烷基胺的鹽酸鹽，因此在獲得目標二烷基氨基硅烷時，需防止由于大量溶劑所造成的體積效率降低，從而廉價地大量制造。
作為使二烷基胺與氯硅烷反應時的溶劑，使用對于反應中所副產的二烷基胺的鹽酸鹽及金屬氯化物而言溶解度高的非質子極性溶劑，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、難以溶解鹵素化合物的直鏈狀烴或分支狀烴，藉此可體積效率高地制造鹵素含量少的二烷基氨基硅烷。進行精餾，此可獲得鹵素含量(氯)成分低的高品質的二烷基氨基硅烷。現有專利及文獻技術所使用雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精餾方式，雙(二乙基氨基)硅烷純度難以超過99.99%。?健康危害
急性毒性 - 口服 - 類別3
急性毒性 - 吸入 - 粉塵/氣霧 - 類別4
急性毒性 - 吸入 - 蒸氣 - 類別4
急性毒性 - 吸入 - 氣體 - 類別4